Автор(ы): Заглавие: Исследование технологического процесса безмасковой фотолитографии для формирования знаков совмещения : выпускная квалификационная работа, научный руководитель Гридчин Александр Викторович. Выходные данные: Новосибирск, 2017. Полное описание
|