Информация о ресурсе
Автор(ы):
Ильченко А. А.
Заглавие:
Исследование технологического процесса безмасковой фотолитографии для формирования знаков совмещения
: выпускная квалификационная работа, научный руководитель Гридчин Александр Викторович
Выходные данные:
Новосибирск, 2017
Полный текст:
Тип:
выпускные квалификационные работы
Предметная область:
электроника, радиотехника и системы связи
Кафедра/
подразделение-разработчик:
подразделение-разработчик:
каф. ППиМЭ (факультет РЭФ)