Автор(ы): | Никифоров Д. А. |
Заглавие: | Отработка технологии осаждения пиролитического окисла из ТЭОС на установке ТМС-2 : выпускная квалификационная работа, научный руководитель Гридчин Александр Викторович |
Выходные данные: | Новосибирск, 2019 |
Полный текст: |
перейти / скачать файл |
Тип: | выпускные квалификационные работы |
Предметная область: |
нанотехнологии и наноматериалы |
Кафедра/ подразделение-разработчик: |
каф. ППиМЭ (факультет РЭФ) |