| Автор(ы): | Кондрашкина Е. Д. |
| Заглавие: | Исследование и модернизация установки проявления и задубливания фоторезиста : выпускная квалификационная работа, научный руководитель Микерин Владимир Александрович |
| Выходные данные: | Новосибирск, 2019 |
| Полный текст: |
перейти / скачать файл |
| Тип: | выпускные квалификационные работы |
| Предметная область: |
электроника, радиотехника и системы связи |
| Кафедра/ подразделение-разработчик: |
каф. ЭП (факультет РЭФ) |