Автор(ы): | Бердинский А. С., Дикарева Р. П., Сидорова А. А. |
Заглавие: | Материалы микросистемной техники |
Выходные данные: | Новосибирск, [2019] |
Полный текст: |
перейти / скачать файл |
Тип: | неофициальные ресурсы () |
Предметная область: |
электротехника |
Ключевые слова: |
неофициальные ресурсы электронные ресурсы микросистемная техника микроэлектронные структуры нанотехнологии диэлектрические слои |
Кафедра/ подразделение-разработчик: |
каф. ППиМЭ (факультет РЭФ) |
Лицензионные договоры: | внесен лицензионный договор для автора Бердинский А.С. |