Автор(ы): | Казанцева Т. М. |
Заглавие: | Формирование трехмерных структур в рентгеновской литографии : выпускная квалификационная работа, научный руководитель Ракшун Яков Валерьевич |
Выходные данные: | Новосибирск, 2018 |
Полный текст: |
перейти / скачать файл |
Тип: | выпускные квалификационные работы |
Предметная область: |
физика и астрономия |
Кафедра/ подразделение-разработчик: |
каф. ЭФУиУ (факультет ФТФ) |