| Автор(ы): | Казанцева Т. М. |
| Заглавие: | Формирование трехмерных структур в рентгеновской литографии : выпускная квалификационная работа, научный руководитель Ракшун Яков Валерьевич |
| Выходные данные: | Новосибирск, 2018 |
| Полный текст: |
перейти / скачать файл |
| Тип: | выпускные квалификационные работы |
| Предметная область: |
физика и астрономия |
| Кафедра/ подразделение-разработчик: |
каф. ЭФУиУ (факультет ФТФ) |