Автор(ы): | Сабурова В. И. |
Заглавие: | Исследование влияния границ раздела на проводимость пленок поликристаллического кремния с помощью моделирования в среде TCAD Sentaurus : выпускная квалификационная работа, научный руководитель Ткаченко Виталий Анатольевич |
Выходные данные: | Новосибирск, 2018 |
Полный текст: |
перейти / скачать файл |
Тип: | выпускные квалификационные работы |
Предметная область: |
нанотехнологии и наноматериалы |
Кафедра/ подразделение-разработчик: |
каф. ППиМЭ (факультет РЭФ) |