Информация о ресурсе
Автор(ы):
Зубрик М. В.
Заглавие:
Исследование и разработка процесса плазмохимического травления металлов
: выпускная квалификационная работа, научный руководитель Гридчин Виктор Алексеевич
Выходные данные:
Новосибирск, 2017
Полный текст:
Тип:
выпускные квалификационные работы
Предметная область:
нанотехнологии и наноматериалы
Кафедра/
подразделение-разработчик:
подразделение-разработчик:
каф. ППиМЭ (факультет РЭФ)