Автор(ы): | Остертак Д. И. |
Заглавие: | Микроэлектромеханика : учебное пособие |
Выходные данные: | Новосибирск : Изд-во НГТУ, 2016 |
Полный текст: |
перейти / скачать файл |
Тип: | учебные пособия |
Предметная область: |
электромеханика электротехника |
Ключевые слова: |
микроэлектромеханика микросистемная техника механические системы свободные колебания демпфирование колебаний электростатические преобразователи электромагнитные преобразователи |
Кафедра/ подразделение-разработчик: |
каф. ППиМЭ (факультет РЭФ) |
Лицензионные договоры: | внесен лицензионный договор для автора Остертак Д.И. |