| Автор(ы): | Остертак Д. И. |
| Заглавие: | Микроэлектромеханика : учебное пособие |
| Выходные данные: | Новосибирск : Изд-во НГТУ, 2016 |
| Полный текст: |
перейти / скачать файл |
| Тип: | учебные пособия |
| Предметная область: |
электромеханика электротехника |
| Ключевые слова: |
микроэлектромеханика микросистемная техника механические системы свободные колебания демпфирование колебаний электростатические преобразователи электромагнитные преобразователи |
| Кафедра/ подразделение-разработчик: |
каф. ППиМЭ (факультет РЭФ) |
| Лицензионные договоры: | внесен лицензионный договор для автора Остертак Д.И. |