Автор(ы): | Нургазинова Ж. А. |
Заглавие: | Плазмохимическое осаждение плёнок оксида алюминия с использованием ТМА : выпускная квалификационная работа, научный руководитель Бердинский Александр Серафимович |
Выходные данные: | Новосибирск, 2016 |
Полный текст: |
перейти / скачать файл |
Тип: | выпускные квалификационные работы |
Предметная область: |
нанотехнологии и наноматериалы |
Кафедра/ подразделение-разработчик: |
каф. ППиМЭ (факультет РЭФ) |