Информация о ресурсе

Автор(ы):

Быков Р. В.

Заглавие:

Разработка процесса атомно-слоевого осаждения пленок оксида алюминия на установке "Oxford Plasma Pro" : выпускная квалификационная работа, научный руководитель Гридчин Виктор Алексеевич

Выходные данные:

Новосибирск, 2016

Полный текст:

перейти / скачать файл

Тип:

выпускные квалификационные работы

Предметная область:

электроника, радиотехника и системы связи

Кафедра/
подразделение-разработчик:

каф. ППиМЭ (факультет РЭФ)

Наверх