Информация о ресурсе

Автор(ы):

Величко А. А., Филимонова Н. И.

Заглавие:

Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных материалов и структур : учебное пособие

Выходные данные:

Новосибирск : Изд-во НГТУ, 2014

Полный текст:

перейти / скачать файл

Тип:

учебные пособия

Предметная область:

физика
электроника

Ключевые слова:

электронная микроскопия
микроскопия
наноэлектронные структуры
Холла эффект
Ван-дер-Пау метод
электронная спектроскопия
МДП-структуры
сканирующая электронная микроскопия

Кафедра/
подразделение-разработчик:

каф. ППиМЭ (факультет РЭФ)

Лицензионные договоры:

внесены лицензионные договоры для авторов Величко А.А., Филимонова Н.И.

Описание ресурса в электронном каталоге НБ