Электронно-библиотечная система НГТУ / Информация о ресурсе
Подождите, идет поиск...Информация о ресурсе
| Автор(ы): | Величко А. А., Филимонова Н. И. |
| Заглавие: | Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных материалов и структур : учебное пособие |
| Выходные данные: | Новосибирск : Изд-во НГТУ, 2014 |
| Полный текст: |
перейти / скачать файл |
| Тип: | учебные пособия |
| Предметная область: |
физика электроника |
| Ключевые слова: |
электронная микроскопия микроскопия наноэлектронные структуры Холла эффект Ван-дер-Пау метод электронная спектроскопия МДП-структуры сканирующая электронная микроскопия |
| Кафедра/ подразделение-разработчик: |
каф. ППиМЭ (факультет РЭФ) |
| Лицензионные договоры: | внесены лицензионные договоры для авторов Величко А.А., Филимонова Н.И. |
Описание ресурса в электронном каталоге НБ