Информация о ресурсе

Автор(ы):

Дорогой С. В.

Заглавие:

Моделирование процесса эпитаксии кремния в реакторе атмосферного давления : методические указания к выполнению расчетно-графической работы для 3 курса РЭФ направления 211200.62 "Конструирование и технология электронных средств"

Выходные данные:

Новосибирск : Изд-во НГТУ, 2014

Полный текст:

перейти / скачать файл

Тип:

методические пособия

Предметная область:

физика

Ключевые слова:

эпитаксия
эпитаксия кремния
химическая кинетика
массоперенос

Кафедра/
подразделение-разработчик:

каф. КТРС (факультет РЭФ)

Лицензионные договоры:

внесен лицензионный договор для автора Дорогой С.В.

Описание ресурса в электронном каталоге НБ