Электронно-библиотечная система НГТУ / Информация о ресурсе
Подождите, идет поиск...Информация о ресурсе
| Автор(ы): | Дорогой С. В. |
| Заглавие: | Моделирование процесса эпитаксии кремния в реакторе атмосферного давления : методические указания к выполнению расчетно-графической работы для 3 курса РЭФ направления 211200.62 "Конструирование и технология электронных средств" |
| Выходные данные: | Новосибирск : Изд-во НГТУ, 2014 |
| Полный текст: |
перейти / скачать файл |
| Тип: | методические пособия |
| Предметная область: |
физика |
| Ключевые слова: |
эпитаксия эпитаксия кремния химическая кинетика массоперенос |
| Кафедра/ подразделение-разработчик: |
каф. КТРС (факультет РЭФ) |
| Лицензионные договоры: | внесен лицензионный договор для автора Дорогой С.В. |
Описание ресурса в электронном каталоге НБ