| Автор(ы): | Беркин А. Б. |
| Заглавие: | Исследование процессов термического и электронного обезгаживания МКП : методические указания к лабораторным работам по курсу "Технология изготовления ЭОП" направления 200100 |
| Выходные данные: | Новосибирск : Изд-во НГТУ, 2014 |
| Полный текст: |
перейти / скачать файл |
| Тип: | методические пособия |
| Предметная область: |
электроника |
| Ключевые слова: |
МКП обезгаживание микроканальные пластины термическое обезгаживание электронное обезгаживание лабораторные работы |
| Кафедра/ подразделение-разработчик: |
каф. ЭП (факультет РЭФ) |
| Лицензионные договоры: | внесен лицензионный договор для автора Беркин А.Б. |