Автор(ы): | Беркин А. Б. |
Заглавие: | Исследование процессов термического и электронного обезгаживания МКП : методические указания к лабораторным работам по курсу "Технология изготовления ЭОП" направления 200100 |
Выходные данные: | Новосибирск : Изд-во НГТУ, 2014 |
Полный текст: |
перейти / скачать файл |
Тип: | методические пособия |
Предметная область: |
электроника |
Ключевые слова: |
МКП обезгаживание микроканальные пластины термическое обезгаживание электронное обезгаживание лабораторные работы |
Кафедра/ подразделение-разработчик: |
каф. ЭП (факультет РЭФ) |
Лицензионные договоры: | внесен лицензионный договор для автора Беркин А.Б. |