Автор(ы): | Беркин А. Б., Василевский А. И. |
Заглавие: | Физические основы вакуумной техники : учебное пособие |
Выходные данные: | Новосибирск : Изд-во НГТУ, 2014 |
Полный текст: |
перейти / скачать файл |
Тип: | учебные пособия |
Предметная область: |
физика машиностроение |
Ключевые слова: |
вакуумные насосы вакуумные системы газоанализаторы масс-спектрометрия течеискатели молекулярная откачка манометрические преобразователи давления конструкции объемных насосов вакуумная техника |
Кафедра/ подразделение-разработчик: |
каф. ЭП (факультет РЭФ) |
Лицензионные договоры: | внесены лицензионные договоры для авторов Беркин А.Б., Василевский А.И. |