| Автор(ы): | Беркин А. Б., Василевский А. И. |
| Заглавие: | Физические основы вакуумной техники : учебное пособие |
| Выходные данные: | Новосибирск : Изд-во НГТУ, 2014 |
| Полный текст: |
перейти / скачать файл |
| Тип: | учебные пособия |
| Предметная область: |
физика машиностроение |
| Ключевые слова: |
вакуумные насосы вакуумные системы газоанализаторы масс-спектрометрия течеискатели молекулярная откачка манометрические преобразователи давления конструкции объемных насосов вакуумная техника |
| Кафедра/ подразделение-разработчик: |
каф. ЭП (факультет РЭФ) |
| Лицензионные договоры: | внесены лицензионные договоры для авторов Беркин А.Б., Василевский А.И. |