Автор(ы): | Филимонова Н. И., Кольцов Б. Б. |
Заглавие: | Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных материалов и структур: сканирующая зондовая микроскопия : учебное пособие |
Выходные данные: | Новосибирск : Изд-во НГТУ, 2013 |
Полный текст: |
перейти / скачать файл |
Тип: | учебные пособия |
Предметная область: |
электроника |
Ключевые слова: |
сканирующая зондовая микроскопия наноэлектронные структуры атомно-силовая микроскопия сканирующая туннельная микроскопия |
Кафедра/ подразделение-разработчик: |
каф. ППиМЭ (факультет РЭФ) |
Лицензионные договоры: | внесены лицензионные договоры для авторов Кольцов Б.Б., Филимонова Н.И. |