Информация о ресурсе

Автор(ы):

Филимонова Н. И., Кольцов Б. Б.

Заглавие:

Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных материалов и структур: сканирующая зондовая микроскопия : учебное пособие

Выходные данные:

Новосибирск : Изд-во НГТУ, 2013

Полный текст:

Тип:

учебные пособия

Предметная область:

электроника

Ключевые слова:

сканирующая зондовая микроскопия
наноэлектронные структуры
атомно-силовая микроскопия
сканирующая туннельная микроскопия

Кафедра/
подразделение-разработчик:

каф. ППиМЭ (факультет РЭФ)

Лицензионные договоры:

внесены лицензионные договоры для авторов Кольцов Б.Б., Филимонова Н.И.