| Автор(ы): | Филимонова Н. И., Кольцов Б. Б. |
| Заглавие: | Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных материалов и структур: сканирующая зондовая микроскопия : учебное пособие |
| Выходные данные: | Новосибирск : Изд-во НГТУ, 2013 |
| Полный текст: |
перейти / скачать файл |
| Тип: | учебные пособия |
| Предметная область: |
электроника |
| Ключевые слова: |
сканирующая зондовая микроскопия наноэлектронные структуры атомно-силовая микроскопия сканирующая туннельная микроскопия |
| Кафедра/ подразделение-разработчик: |
каф. ППиМЭ (факультет РЭФ) |
| Лицензионные договоры: | внесены лицензионные договоры для авторов Кольцов Б.Б., Филимонова Н.И. |