Автор(ы): | Геллер В. М., Хрусталев В. А. |
Заглавие: | Плазменные высокочастотные технологии для электронного приборостроения : [монография] |
Выходные данные: | Новосибирск : Изд-во НГТУ, 2011 |
Полный текст: |
перейти / скачать файл |
Тип: | монографии |
Предметная область: |
электроника |
Ключевые слова: |
электронное приборостроение плазменные технологии плазмохимические реакторы генераторы низкотемпературной плазмы приборостроение плазмотермия генераторы плазмы низкотемпературная плазма |
Кафедра/ подразделение-разработчик: |
каф. ЭП (факультет РЭФ) |
Лицензионные договоры: | внесен лицензионный договор для автора Хрусталев В.А. |