НОВОСИБИРСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ
ЭЛЕКТРОННО-БИБЛИОТЕЧНАЯ СИСТЕМА

Информация о ресурсе

Автор(ы):
Геллер В. М., Хрусталев В. А.
Заглавие:
Плазменные высокочастотные технологии для электронного приборостроения : [монография]
Выходные данные:
Новосибирск : Изд-во НГТУ, 2011
Полный текст:
Тип:
монографии
Предметная область:
электроника
Ключевые слова:
электронное приборостроение
плазменные технологии
плазмохимические реакторы
генераторы низкотемпературной плазмы
приборостроение
плазмотермия
генераторы плазмы
низкотемпературная плазма
Кафедра/
подразделение-разработчик:
каф. ЭП (факультет РЭФ)
Лицензионные договоры:
внесен лицензионный договор для автора Хрусталев В.А.
Наверх