Информация о ресурсе

Автор(ы):

Дорогой С. В.

Заглавие:

Физические основы микро- и наноэлектроники. Материалы лекций : учебное пособие

Выходные данные:

Новосибирск : Изд-во НГТУ, 2026

Полный текст:

перейти / скачать файл

Тип:

учебные пособия

Предметная область:

электроника

Ключевые слова:

термическая диффузия
термическое окисление кремния
ионное легирование
молекулярно-лучевая эпитаксия
нейронно-трансмутационное легирование полупроводников
литография
полевые транзисторы
флеш-память
гетеропереходы

Кафедра/
подразделение-разработчик:

каф. КТРС (факультет РЭФ)

Лицензионные договоры:

лицензионные договоры не внесены

Описание ресурса в электронном каталоге НБ