Электронно-библиотечная система НГТУ / Информация о ресурсе
Подождите, идет поиск...Информация о ресурсе
| Автор(ы): | Гридчин А. В. |
| Заглавие: | Инженерно-физические основы микросистем : учебное пособие |
| Выходные данные: | Новосибирск : Изд-во НГТУ, 2025 |
| Полный текст: |
перейти / скачать файл |
| Тип: | учебные пособия |
| Предметная область: |
электроника |
| Ключевые слова: |
МЭМС-конвекторы МЭМС-интерфейсы МЭМС-контроллеры ковариантные коордианты контравариантные координаты LIGA-процесс HEXSIL-технологии HARPSS-технология наносистемная техника актюаторы |
| Кафедра/ подразделение-разработчик: |
каф. ППиМЭ (факультет РЭФ) |
| Лицензионные договоры: | внесен лицензионный договор для автора Гридчин А.В. |
Описание ресурса в электронном каталоге НБ