Информация о ресурсе

Автор(ы):

Гридчин А. В.

Заглавие:

Инженерно-физические основы микросистем : учебное пособие

Выходные данные:

Новосибирск : Изд-во НГТУ, 2025

Полный текст:

перейти / скачать файл

Тип:

учебные пособия

Предметная область:

электроника

Ключевые слова:

МЭМС-конвекторы
МЭМС-интерфейсы
МЭМС-контроллеры
ковариантные коордианты
контравариантные координаты
LIGA-процесс
HEXSIL-технологии
HARPSS-технология
наносистемная техника
актюаторы

Кафедра/
подразделение-разработчик:

каф. ППиМЭ (факультет РЭФ)

Лицензионные договоры:

внесен лицензионный договор для автора Гридчин А.В.

Описание ресурса в электронном каталоге НБ