| Автор(ы): | Фастов В. А. |
| Заглавие: | Определение условий измерения профиля концентрации носителей заряда методом ECV-профилирования в локальной области полупроводника : выпускная квалификационная работа, научный руководитель Протасов Дмитрий Юрьевич |
| Выходные данные: | Новосибирск, 2025 |
| Полный текст: |
перейти / скачать файл |
| Тип: | выпускные квалификационные работы |
| Предметная область: |
нанотехнологии и наноматериалы |