Информация о ресурсе
Автор(ы):
Мельниченко И. Е.
Заглавие:
Исследование свойств МЭМС датчика давления-температуры на основе карбида кремния
: выпускная квалификационная работа, научный руководитель Гридчин Александр Викторович
Выходные данные:
Новосибирск, 2024
Полный текст:
Тип:
выпускные квалификационные работы
Предметная область:
нанотехнологии и наноматериалы
Кафедра/
подразделение-разработчик:
подразделение-разработчик:
каф. ППиМЭ (факультет РЭФ)