Электронно-библиотечная система НГТУ / Информация о ресурсе
Подождите, идет поиск...Информация о ресурсе
| Автор(ы): | Белоусов Р. А. |
| Заглавие: | Разработка режима осаждения SiO2 из тетраэтоксисилана на установках LPCVD : выпускная квалификационная работа, научный руководитель Илюшин Владимир Александрович |
| Выходные данные: | Новосибирск, 2022 |
| Полный текст: |
перейти / скачать файл |
| Тип: | выпускные квалификационные работы |
| Предметная область: |
электроника, радиотехника и системы связи |
| Кафедра/ подразделение-разработчик: |
каф. ППиМЭ (факультет РЭФ) |