Автор(ы): | Алехин С. А. |
Заглавие: | Разработка автоматизированной экспериментальной установки по осаждению фторполимерных покрытий методом HW CVD : выпускная квалификационная работа, научный руководитель Шишкин Андрей Валентинович |
Выходные данные: | Новосибирск, 2021 |
Полный текст: |
перейти / скачать файл |
Тип: | выпускные квалификационные работы |
Кафедра/ подразделение-разработчик: |
каф. АЭТУ (факультет ФМА) |