Автор(ы): | Матвеева А. С. |
Заглавие: | Оптимизация параметров PECVD-синтеза гибридных пленок алмаз / УНТ на кремниевых подложках : выпускная квалификационная работа, научный руководитель Уваров Николай Фавстович |
Выходные данные: | Новосибирск, 2021 |
Полный текст: |
перейти / скачать файл |
Тип: | выпускные квалификационные работы |
Кафедра/ подразделение-разработчик: |
каф. ХХТ (факультет МТФ) |