Электронно-библиотечная система НГТУ / Информация о ресурсе
Подождите, идет поиск...Информация о ресурсе
| Автор(ы): | Беркин А. Б. |
| Заглавие: | Основы технологии электронной компонентной базы. Технология тонких пленок : методические указания к лабораторным работам для РЭФ дневного отделения |
| Выходные данные: | Новосибирск : Изд-во НГТУ, 2012 |
| Полный текст: |
перейти / скачать файл |
| Тип: | методические пособия |
| Предметная область: |
физика |
| Ключевые слова: |
технология тонких пленок тонкие пленки нанесение пленок магнетронное распыление микроинтерферометр |
| Кафедра/ подразделение-разработчик: |
каф. ЭП (факультет РЭФ) |
| Лицензионные договоры: | внесен лицензионный договор для автора Беркин А.Б. |
Описание ресурса в электронном каталоге НБ