Информация о ресурсе

Автор(ы):

Беркин А. Б.

Заглавие:

Основы технологии электронной компонентной базы. Технология тонких пленок : методические указания к лабораторным работам для РЭФ дневного отделения

Выходные данные:

Новосибирск : Изд-во НГТУ, 2012

Полный текст:

Тип:

методические пособия

Предметная область:

физика

Ключевые слова:

технология тонких пленок
тонкие пленки
нанесение пленок
магнетронное распыление
микроинтерферометр

Кафедра/
подразделение-разработчик:

каф. ЭП (факультет РЭФ)

Лицензионные договоры:

внесен лицензионный договор для автора Беркин А.Б.