Новосибирский государственный технический университет

Электронно-библиотечная система
Портал НГТУ
Главная (ЭБС)

Работа с ЭБС для студентов и преподавателей НГТУ

Информация о ресурсе

Автор(ы): Беркин А. Б.
Заглавие: Основы технологии электронной компонентной базы. Технология тонких пленок : методические указания к лабораторным работам для РЭФ дневного отделения
Выходные данные: Новосибирск : Изд-во НГТУ, 2012
Полный текст: перейти / скачать файл
Тип: методические пособия
Предметная область: физика
физика (рубрика "полупроводники")
тонкие пленки (рубрика "физика")
тонкие пленки
Ключевые слова: технология тонких пленок
тонкие пленки
нанесение пленок
магнетронное распыление
микроинтерферометр
Кафедра/
подразделение-разработчик:
каф. ЭП (факультет РЭФ)
Лицензионные договоры: лицензионные договоры не внесены

Описание ресурса в электронном каталоге НБ

© 2011-2020, Новосибирский государственный технический университет

Консультационная поддержка ЭБС НГТУ: Научная библиотека, 1 корпус, к. 110, 112, тел.: +7 (383) 346 02 46, +7 (383) 346 29 43 (доп. 31-63), эл. почта: 

Техническая поддержка ЭБС НГТУ: Центр информатизации университета, 1 корпус, к. 301а, 301, 306, тел.: +7 (383) 346 02 68, эл. почта: