Новосибирский государственный технический университет

Электронно-библиотечная система
Портал НГТУ
Главная (ЭБС)

Работа с ЭБС для студентов и преподавателей НГТУ

Информация о ресурсе

Автор(ы): Илюшин В. А., Величко А. А.
Заглавие: Процессы нанотехнологии : учебное пособие
Выходные данные: Новосибирск : НГТУ, 2004
Полный текст: перейти / скачать файл
Тип: учебные пособия
Предметная область: физика
физика (рубрика "полупроводники")
молекулярные структуры (рубрика "физика")
Ключевые слова: наноструктуры
эпитаксия
нанотехнологии
наноэлектроника
молекулярно-лучевая эпитаксия
квантово-размеренные структуры
гетероэпитаксиальный рост
фасетирование
сканирующий туннельный микроскоп
атомно-силовой микроскоп
магнитно-силовая микроскопия
термическая спектроскопия
литография
Кафедра/
подразделение-разработчик:
каф. ППиМЭ (факультет РЭФ)
Лицензионные договоры: внесены лицензионные договоры для авторов Величко А.А., Илюшин В.А.

Описание ресурса в электронном каталоге НБ

© 2011-2020, Новосибирский государственный технический университет

Консультационная поддержка ЭБС НГТУ: Научная библиотека, 1 корпус, к. 110, 112, тел.: +7 (383) 346 02 46, +7 (383) 346 29 43 (доп. 31-63), эл. почта: 

Техническая поддержка ЭБС НГТУ: Центр информатизации университета, 1 корпус, к. 301а, 301, 306, тел.: +7 (383) 346 02 68, эл. почта: