Информация о ресурсе

Автор(ы):

Илюшин В. А., Величко А. А.

Заглавие:

Процессы нанотехнологии : учебное пособие

Выходные данные:

Новосибирск : НГТУ, 2004

Полный текст:

перейти / скачать файл

Тип:

учебные пособия

Предметная область:

физика

Ключевые слова:

наноструктуры
эпитаксия
нанотехнологии
наноэлектроника
молекулярно-лучевая эпитаксия
квантово-размеренные структуры
гетероэпитаксиальный рост
фасетирование
сканирующий туннельный микроскоп
атомно-силовой микроскоп
магнитно-силовая микроскопия
термическая спектроскопия
литография

Кафедра/
подразделение-разработчик:

каф. ППиМЭ (факультет РЭФ)

Лицензионные договоры:

внесены лицензионные договоры для авторов Величко А.А., Илюшин В.А.

Описание ресурса в электронном каталоге НБ