Электронно-библиотечная система НГТУ / Информация о ресурсе
Подождите, идет поиск...Информация о ресурсе
| Автор(ы): | Илюшин В. А., Величко А. А. |
| Заглавие: | Процессы нанотехнологии : учебное пособие |
| Выходные данные: | Новосибирск : НГТУ, 2004 |
| Полный текст: |
перейти / скачать файл |
| Тип: | учебные пособия |
| Предметная область: |
физика |
| Ключевые слова: |
наноструктуры эпитаксия нанотехнологии наноэлектроника молекулярно-лучевая эпитаксия квантово-размеренные структуры гетероэпитаксиальный рост фасетирование сканирующий туннельный микроскоп атомно-силовой микроскоп магнитно-силовая микроскопия термическая спектроскопия литография |
| Кафедра/ подразделение-разработчик: |
каф. ППиМЭ (факультет РЭФ) |
| Лицензионные договоры: | внесены лицензионные договоры для авторов Величко А.А., Илюшин В.А. |
Описание ресурса в электронном каталоге НБ