Информация о ресурсе

Автор(ы):

Гридчин В. А., Драгунов В. П.

Заглавие:

Физика микросистем : [учебное пособие для вузов]

Выходные данные:

Новосибирск : Изд-во НГТУ, 2004

Полный текст:

перейти / скачать файл

Тип:

учебные пособия

Предметная область:

электроника

Ключевые слова:

физика микросистем
кремниевые микросистемы
микромеханические системы
тензор деформаций
тензор механических напряжений
упругие элементы
электростатическое управление
изгиб
тензорезистивный эффект
Холла эффект
сенсоры
пьезосопротивление
тензопреобразователи
микросистемы

Кафедра/
подразделение-разработчик:

каф. ППиМЭ (факультет РЭФ)

Лицензионные договоры:

внесены лицензионные договоры для авторов Гридчин В.А., Драгунов В.П.

Описание ресурса в электронном каталоге НБ