Новосибирский государственный технический университет

Электронно-библиотечная система
Портал НГТУ
Главная (ЭБС)

Работа с ЭБС для студентов и преподавателей НГТУ

Информация о ресурсе

Автор(ы): Гридчин В. А., Драгунов В. П.
Заглавие: Физика микросистем : [учебное пособие для вузов]
Выходные данные: Новосибирск : Изд-во НГТУ, 2004
Полный текст: перейти / скачать файл
Тип: учебные пособия
Предметная область: микроэлектроника (рубрика "электроника")
микроэлектроника
электроника
электроника (рубрика "электротехника")
Ключевые слова: физика микросистем
кремниевые микросистемы
микромеханические системы
тензор деформаций
тензор механических напряжений
упругие элементы
электростатическое управление
изгиб
тензорезистивный эффект
Холла эффект
сенсоры
пьезосопротивление
тензопреобразователи
микросистемы
Кафедра/
подразделение-разработчик:
каф. ППиМЭ (факультет РЭФ)
Лицензионные договоры: внесены лицензионные договоры для авторов Гридчин В.А., Драгунов В.П.

Описание ресурса в электронном каталоге НБ

© 2011-2020, Новосибирский государственный технический университет

Консультационная поддержка ЭБС НГТУ: Научная библиотека, 1 корпус, к. 110, 112, тел.: +7 (383) 346 02 46, +7 (383) 346 29 43 (доп. 31-63), эл. почта: 

Техническая поддержка ЭБС НГТУ: Центр информатизации университета, 1 корпус, к. 301а, 301, 306, тел.: +7 (383) 346 02 68, эл. почта: