Электронно-библиотечная система НГТУ / Информация о ресурсе
Подождите, идет поиск...Информация о ресурсе
| Автор(ы): | Гридчин В. А., Драгунов В. П. |
| Заглавие: | Физика микросистем : [учебное пособие для вузов] |
| Выходные данные: | Новосибирск : Изд-во НГТУ, 2004 |
| Полный текст: |
перейти / скачать файл |
| Тип: | учебные пособия |
| Предметная область: |
электроника |
| Ключевые слова: |
физика микросистем кремниевые микросистемы микромеханические системы тензор деформаций тензор механических напряжений упругие элементы электростатическое управление изгиб тензорезистивный эффект Холла эффект сенсоры пьезосопротивление тензопреобразователи микросистемы |
| Кафедра/ подразделение-разработчик: |
каф. ППиМЭ (факультет РЭФ) |
| Лицензионные договоры: | внесены лицензионные договоры для авторов Гридчин В.А., Драгунов В.П. |
Описание ресурса в электронном каталоге НБ