Электронно-библиотечная система НГТУ / Информация о ресурсе
Подождите, идет поиск...Информация о ресурсе
| Автор(ы): | Гридчин А. В., Гридчин В. А., Каменская А. В. |
| Заглавие: | Компоненты и технологии микро- и наносистемной техники : методическое руководство к лабораторным работам № 5-9 для АВТФ по специальностям 200100 - Приборостроение и 200300 - Биомедицинская инженерия и РЭФ по специальности 550700 - Электроника и микроэлектроника |
| Выходные данные: | Новосибирск : Изд-во НГТУ, 2007 |
| Полный текст: |
перейти / скачать файл |
| Тип: | методические пособия |
| Предметная область: |
электроника |
| Ключевые слова: |
сенсоры давления термосенсоры магнитные сенсоры Холла сенсоры магниторезистивный эффект фотолитография термическое окисление вакуумное напыление бесклеевые соединения электростатический метод кремний-стекло анизотропное травление кремния лабораторные работы |
| Кафедра/ подразделение-разработчик: |
каф. ППиМЭ (факультет РЭФ) |
| Лицензионные договоры: | внесены лицензионные договоры для авторов Гридчин А.В., Гридчин В.А., Каменская А.В. |
Описание ресурса в электронном каталоге НБ