Новосибирский государственный технический университет

Электронно-библиотечная система
Портал НГТУ
Главная (ЭБС)

Работа с ЭБС для студентов и преподавателей НГТУ

Информация о ресурсе

Автор(ы): Гридчин А. В., Гридчин В. А., Каменская А. В.
Заглавие: Компоненты и технологии микро- и наносистемной техники : методическое руководство к лабораторным работам № 5-9 для АВТФ по специальностям 200100 - Приборостроение и 200300 - Биомедицинская инженерия и РЭФ по специальности 550700 - Электроника и микроэлектроника
Выходные данные: Новосибирск : Изд-во НГТУ, 2007
Полный текст: перейти / скачать файл
Тип: методические пособия
Предметная область: электроника
электроника (рубрика "электротехника")
Ключевые слова: сенсоры давления
термосенсоры
магнитные сенсоры
Холла сенсоры
магниторезистивный эффект
фотолитография
термическое окисление
вакуумное напыление
бесклеевые соединения
электростатический метод
кремний-стекло
анизотропное травление кремния
лабораторные работы
Кафедра/
подразделение-разработчик:
каф. ППиМЭ (факультет РЭФ)
Лицензионные договоры: внесены лицензионные договоры для авторов Гридчин А.В., Гридчин В.А., Каменская А.В.

Описание ресурса в электронном каталоге НБ

© 2011-2020, Новосибирский государственный технический университет

Консультационная поддержка ЭБС НГТУ: Научная библиотека, 1 корпус, к. 110, 112, тел.: +7 (383) 346 02 46, +7 (383) 346 29 43 (доп. 31-63), эл. почта: 

Техническая поддержка ЭБС НГТУ: Центр информатизации университета, 1 корпус, к. 301а, 301, 306, тел.: +7 (383) 346 02 68, эл. почта: