Информация о ресурсе

Автор(ы):

Гридчин А. В., Гридчин В. А., Каменская А. В.

Заглавие:

Компоненты и технологии микро- и наносистемной техники : методическое руководство к лабораторным работам № 5-9 для АВТФ по специальностям 200100 - Приборостроение и 200300 - Биомедицинская инженерия и РЭФ по специальности 550700 - Электроника и микроэлектроника

Выходные данные:

Новосибирск : Изд-во НГТУ, 2007

Полный текст:

перейти / скачать файл

Тип:

методические пособия

Предметная область:

электроника

Ключевые слова:

сенсоры давления
термосенсоры
магнитные сенсоры
Холла сенсоры
магниторезистивный эффект
фотолитография
термическое окисление
вакуумное напыление
бесклеевые соединения
электростатический метод
кремний-стекло
анизотропное травление кремния
лабораторные работы

Кафедра/
подразделение-разработчик:

каф. ППиМЭ (факультет РЭФ)

Лицензионные договоры:

внесены лицензионные договоры для авторов Гридчин А.В., Гридчин В.А., Каменская А.В.

Описание ресурса в электронном каталоге НБ