Информация о ресурсе

Автор(ы):

Илюшин В. А.

Заглавие:

Процессы микро- и нанотехнологии : методическое руководство к лабораторным работам для 3 курса РЭФ (направление 210100) заочной и дневной форм обучения

Выходные данные:

Новосибирск : Изд-во НГТУ, 2006

Полный текст:

перейти / скачать файл

Тип:

методические пособия

Предметная область:

электроника

Ключевые слова:

электроника
нанотехнологии
кремниевые пластины
химическое травление
термическое окисление
вакуумное напыление
фотолитография
микротехнологии
лабораторные работы

Кафедра/
подразделение-разработчик:

каф. ППиМЭ (факультет РЭФ)

Лицензионные договоры:

внесен лицензионный договор для автора Илюшин В.А.

Описание ресурса в электронном каталоге НБ