Новосибирский государственный технический университет

Электронно-библиотечная система
Портал НГТУ
Главная (ЭБС)

Работа с ЭБС для студентов и преподавателей НГТУ

Информация о ресурсе

Автор(ы): Илюшин В. А.
Заглавие: Процессы микро- и нанотехнологии : методическое руководство к лабораторным работам для 3 курса РЭФ (направление 210100) заочной и дневной форм обучения
Выходные данные: Новосибирск : Изд-во НГТУ, 2006
Полный текст: перейти / скачать файл
Тип: методические пособия
Предметная область: нанотехнологии (рубрика "электроника")
нанотехнологии
электроника
электроника (рубрика "электротехника")
Ключевые слова: электроника
нанотехнологии
кремниевые пластины
химическое травление
термическое окисление
вакуумное напыление
фотолитография
микротехнологии
лабораторные работы
Кафедра/
подразделение-разработчик:
каф. ППиМЭ (факультет РЭФ)
Лицензионные договоры: внесен лицензионный договор для автора Илюшин В.А.

Описание ресурса в электронном каталоге НБ

© 2011-2020, Новосибирский государственный технический университет

Консультационная поддержка ЭБС НГТУ: Научная библиотека, 1 корпус, к. 110, 112, тел.: +7 (383) 346 02 46, +7 (383) 346 29 43 (доп. 31-63), эл. почта: 

Техническая поддержка ЭБС НГТУ: Центр информатизации университета, 1 корпус, к. 301а, 301, 306, тел.: +7 (383) 346 02 68, эл. почта: