Электронно-библиотечная система НГТУ / Информация о ресурсе
Подождите, идет поиск...Информация о ресурсе
| Автор(ы): | Илюшин В. А. |
| Заглавие: | Процессы микро- и нанотехнологии : методическое руководство к лабораторным работам для 3 курса РЭФ (направление 210100) заочной и дневной форм обучения |
| Выходные данные: | Новосибирск : Изд-во НГТУ, 2006 |
| Полный текст: |
перейти / скачать файл |
| Тип: | методические пособия |
| Предметная область: |
электроника |
| Ключевые слова: |
электроника нанотехнологии кремниевые пластины химическое травление термическое окисление вакуумное напыление фотолитография микротехнологии лабораторные работы |
| Кафедра/ подразделение-разработчик: |
каф. ППиМЭ (факультет РЭФ) |
| Лицензионные договоры: | внесен лицензионный договор для автора Илюшин В.А. |
Описание ресурса в электронном каталоге НБ