Электронно-библиотечная система НГТУ / Информация о ресурсе
Подождите, идет поиск...Информация о ресурсе
| Автор(ы): | Каменская А. В. |
| Заглавие: | Основы технологии материалов микроэлектроники : учебно-методическое пособие |
| Выходные данные: | Новосибирск : Изд-во НГТУ, 2010 |
| Полный текст: |
перейти / скачать файл |
| Тип: | учебные пособия |
| Предметная область: |
электроника |
| Ключевые слова: |
монокристаллы расплавы кристаллизация выращивание кристаллов выращивание монокристаллов методы очистки очистка материалов эпитаксиальные пленки полупроводниковые соединения твердые растворы антимонид индия арсенид галлия |
| Кафедра/ подразделение-разработчик: |
каф. ППиМЭ (факультет РЭФ) |
| Лицензионные договоры: | внесен лицензионный договор для автора Каменская А.В. |
Описание ресурса в электронном каталоге НБ