Информация о ресурсе

Автор(ы):

Каменская А. В.

Заглавие:

Основы технологии материалов микроэлектроники : учебно-методическое пособие

Выходные данные:

Новосибирск : Изд-во НГТУ, 2010

Полный текст:

перейти / скачать файл

Тип:

учебные пособия

Предметная область:

электроника

Ключевые слова:

монокристаллы
расплавы
кристаллизация
выращивание кристаллов
выращивание монокристаллов
методы очистки
очистка материалов
эпитаксиальные пленки
полупроводниковые соединения
твердые растворы
антимонид индия
арсенид галлия

Кафедра/
подразделение-разработчик:

каф. ППиМЭ (факультет РЭФ)

Лицензионные договоры:

внесен лицензионный договор для автора Каменская А.В.

Описание ресурса в электронном каталоге НБ