Новосибирский государственный технический университет

Электронно-библиотечная система
Портал НГТУ
Главная (ЭБС)

Работа с ЭБС для студентов и преподавателей НГТУ

Информация о ресурсе

Автор(ы): Каменская А. В.
Заглавие: Физическая химия в микроэлектронной технологии : учебно-методическое пособие
Выходные данные: Новосибирск : Изд-во НГТУ, 2006
Полный текст: перейти / скачать файл
Тип: учебные пособия
Предметная область: физическая химия (рубрика "химия")
физическая химия
химия
химия (рубрика "охрана окружающей среды")
Ключевые слова: физическая химия
микроэлектронные технологии
химические связи
твердые растворы
термодинамика растворов
химические реакции
химическое равновесие
кинетика химических реакций
катализ
дефекты кристаллов
точечные дефекты
концентрация примесей
полупроводниковые кристаллы
выращивание кремния
газотранспортные реакции
осаждение
хлоридные системы
Кафедра/
подразделение-разработчик:
каф. ППиМЭ (факультет РЭФ)
Лицензионные договоры: внесен лицензионный договор для автора Каменская А.В.

Описание ресурса в электронном каталоге НБ

© 2011-2020, Новосибирский государственный технический университет

Консультационная поддержка ЭБС НГТУ: Научная библиотека, 1 корпус, к. 110, 112, тел.: +7 (383) 346 02 46, +7 (383) 346 29 43 (доп. 31-63), эл. почта: 

Техническая поддержка ЭБС НГТУ: Центр информатизации университета, 1 корпус, к. 301а, 301, 306, тел.: +7 (383) 346 02 68, эл. почта: