Электронно-библиотечная система НГТУ / Информация о ресурсе
Подождите, идет поиск...Информация о ресурсе
| Автор(ы): | Каменская А. В. |
| Заглавие: | Физическая химия в микроэлектронной технологии : учебно-методическое пособие |
| Выходные данные: | Новосибирск : Изд-во НГТУ, 2006 |
| Полный текст: |
перейти / скачать файл |
| Тип: | учебные пособия |
| Предметная область: |
химия |
| Ключевые слова: |
физическая химия микроэлектронные технологии химические связи твердые растворы термодинамика растворов химические реакции химическое равновесие кинетика химических реакций катализ дефекты кристаллов точечные дефекты концентрация примесей полупроводниковые кристаллы выращивание кремния газотранспортные реакции осаждение хлоридные системы |
| Кафедра/ подразделение-разработчик: |
каф. ППиМЭ (факультет РЭФ) |
| Лицензионные договоры: | внесен лицензионный договор для автора Каменская А.В. |
Описание ресурса в электронном каталоге НБ