Электронно-библиотечная система НГТУ / Информация о ресурсе
Подождите, идет поиск...Информация о ресурсе
| Автор(ы): | Каменская А. В., Дикарева Р. П. |
| Заглавие: | Технологические процессы в микроэлектронике : учебно-методическое пособие |
| Выходные данные: | Новосибирск : Изд-во НГТУ, 2005 |
| Полный текст: |
перейти / скачать файл |
| Тип: | учебные пособия |
| Предметная область: |
электроника |
| Ключевые слова: |
микроэлектроника кристаллизация направленная выращивание кристаллов зонная плавка коэффициент распределения анодные процессы окисление осаждение |
| Кафедра/ подразделение-разработчик: |
каф. ППиМЭ (факультет РЭФ) |
| Лицензионные договоры: | внесены лицензионные договоры для авторов Дикарева Р.П., Каменская А.В. |
Описание ресурса в электронном каталоге НБ