Информация о ресурсе

Автор(ы):

Каменская А. В., Дикарева Р. П.

Заглавие:

Технологические процессы в микроэлектронике : учебно-методическое пособие

Выходные данные:

Новосибирск : Изд-во НГТУ, 2005

Полный текст:

Тип:

учебные пособия

Предметная область:

электроника

Ключевые слова:

микроэлектроника
кристаллизация направленная
выращивание кристаллов
зонная плавка
коэффициент распределения
анодные процессы
окисление
осаждение

Кафедра/
подразделение-разработчик:

каф. ППиМЭ (факультет РЭФ)

Лицензионные договоры:

внесены лицензионные договоры для авторов Дикарева Р.П., Каменская А.В.