Информация о ресурсе

Автор(ы):

Каменская А. В.

Заглавие:

Анизотропное травление полупроводниковых материалов типа А3В5 : лабораторная работа для 3 курса РЭФ направления 210100 дневной и заочной форм обучения

Выходные данные:

Новосибирск : Изд-во НГТУ, 2008

Полный текст:

перейти / скачать файл

Тип:

методические пособия

Предметная область:

электротехника

Ключевые слова:

полупроводниковые материалы
анизотропное травление
химическое травление
арсенид галлия
фосфид индия
лабораторные работы
компьютерное моделирование

Кафедра/
подразделение-разработчик:

каф. ППиМЭ (факультет РЭФ)

Лицензионные договоры:

внесен лицензионный договор для автора Каменская А.В.

Описание ресурса в электронном каталоге НБ