Электронно-библиотечная система НГТУ / Информация о ресурсе
Подождите, идет поиск...Информация о ресурсе
| Автор(ы): | Каменская А. В. |
| Заглавие: | Анизотропное травление полупроводниковых материалов типа А3В5 : лабораторная работа для 3 курса РЭФ направления 210100 дневной и заочной форм обучения |
| Выходные данные: | Новосибирск : Изд-во НГТУ, 2008 |
| Полный текст: |
перейти / скачать файл |
| Тип: | методические пособия |
| Предметная область: |
электротехника |
| Ключевые слова: |
полупроводниковые материалы анизотропное травление химическое травление арсенид галлия фосфид индия лабораторные работы компьютерное моделирование |
| Кафедра/ подразделение-разработчик: |
каф. ППиМЭ (факультет РЭФ) |
| Лицензионные договоры: | внесен лицензионный договор для автора Каменская А.В. |
Описание ресурса в электронном каталоге НБ