Полные тексты ресурсов ЭБС доступны только авторизованным пользователям.
Автор(ы):Колосов П. А. Заглавие: Разработка процессов глубокого реактивного травления кремния в производстве ИТП : выпускная квалификационная работа, научный руководитель Гридчин Виктор Алексеевич. Выходные данные: Новосибирск, 2016. Полное описание