НОВОСИБИРСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ
ЭЛЕКТРОННО-БИБЛИОТЕЧНАЯ СИСТЕМА

Работы автора


Найдено ресурсов: 1

Полные тексты ресурсов ЭБС доступны только авторизованным пользователям.
Автор(ы): Колосов П. А.
Заглавие: Разработка процессов глубокого реактивного травления кремния в производстве ИТП : выпускная квалификационная работа, научный руководитель Гридчин Виктор Алексеевич.
Выходные данные: Новосибирск, 2016.    Полное описание
Наверх