Автор(ы): Заглавие: Оптимизация технологических процессов производства интегральных схем с помощью анализа параметрических карт пластин : выпускная квалификационная работа, научный руководитель Гридчин Виктор Алексеевич. Выходные данные: Новосибирск, 2016. Полное описание
|