Автор(ы): Заглавие: Исследование формирования фазы германия в имплантированных пленках оксинитрида кремния в условиях отжига при высоких давлениях : выпускная квалификационная работа, научный руководитель Климов Александр Эдуардович. Выходные данные: Новосибирск, 2018. Полное описание
|