Автор(ы): Заглавие: Исследование влияния масштабирования на проводимость тонкопленочных поликремниевых мезарезисторов на диэлектрике : выпускная квалификационная работа, научный руководитель Неизвестный Игорь Георгиевич. Выходные данные: Новосибирск, 2018. Полное описание
|