Полные тексты ресурсов ЭБС доступны только авторизованным пользователям.
Автор(ы):Остапенко А. Д. Заглавие: Разработка режима термокомпрессионного окисления для микросхем памяти : выпускная квалификационная работа, научный руководитель Бердинский Александр Серафимович. Выходные данные: Новосибирск, 2016. Полное описание