Автор(ы): Заглавие: Исследование процесса анодного окисления поверхности InAlAs в таунсендовской газоразрядной плазме : выпускная квалификационная работа, научный руководитель Шварц Наталия Львовна. Выходные данные: Новосибирск, 2020. Полное описание
|